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(3)
1
高均匀性低损伤电感耦合等离子刻蚀机的研发与产业化被评为2025年度江苏省科技进步奖三等奖
2026-09-30
2
被评为江苏省2025年度省级专精特新中小企业(第二批)
2025-12-05
3
被评为江苏省2023年省级企业技术中心
2023-12-19
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